산업체에서 생산되는 다양한 형태의 제품들 중, 마이크로메타, 나노메타 수준의 정밀한 가공에 있어서,

정확하고 일관성 있는 계측을 빠른 시간 안에 수행 할 수 있는 방법은 오래 전부터 활발히 연구되고 있으며,

ThetaMetrisis는 코팅 관련 분야에서 독보적으로 업계를 선도하고 있습니다.

세타메트리시스의 핵심 기술은 화이트라이트반사분광학(WLRS)으로 적층된 박막의 두께와 굴절률을 수 옹스트롬에서 밀리미터까지 넓은 범위를 정밀하게 측정할 수 있습니다.

 

FR-Mic은 마이크로미터의 작은 스폿 크기를 필요로 하는 빠르고 정확한 코팅 특성화 애플리케이션을 위한 모듈러 광학 컬럼입니다. 

일반적인 예로는 마이크로 패턴 표면, 거친 표면 등이 있습니다. 전용 컴퓨터 제어 XY 스테이지와 조합할 수 있기 때문에 샘플의 자동 두께 및 광학 특성 매핑이 빠르고 쉽고 정확하게 가능합니다.

 

 

FR-Scanner-AIO는 웨이퍼, 마스크 또는 기타 기판의 필름 및 코팅의 두께 편차 맵핑을 제공합니다. FR-Scanner는 두께, 굴절률, 균일성, 색상 등의 필름 특성을 빠르고 정확하게 매핑하는 데 이상적인 도구입니다.

모든 직경(최대 300mm)과 모양의 웨이퍼를 진공 척에 수용할 수 있으며 8인치 기준 분당 200 포인트 측정 속도로 필름의 자세한 특성은 클릭 한 번으로 실시간 확인할 수 있습니다.

 

특징

Application

 

관심이 있으시다면 메일 회신 주시면 관련 세부 Application 및 실제 측정 자료를 추가 송부 드리도록 하겠습니다.

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