설명

FR-Education 은 일반적인 광학 측정( 흡광도/투과율, 반사율, 형광 ) 및 얇고 두꺼운 단일 필름 또는 다층 스택의 필름 두께 및 광학 특성 (n & k) 의 비파괴 측정을 위한 저렴한 탁상용 솔루션입니다 . 필름 두께 및 광학 특성 측정은 백색광 반사 분광법(WLRS)을 기반으로 합니다. WLRS에서 필름(들)의 계면에서의 간섭으로 인한 350-100nm 범위의 반사 스펙트럼은 내장된 분광계로 수집된 다음 다층 반사 방정식에 맞춰 두께, 굴절률 및 필름의 거칠기.

FR-Education 도구는 FR-Monitor™를 통해 제어됩니다.스펙트럼 데이터 수집 및 분석을 수행합니다. 재료 데이터베이스가 포함되어 있으며 사용자가 쉽게 확장할 수 있습니다. 전체 시스템(하드웨어 – 소프트웨어)은 측정 준비가 된 상태로 배송됩니다. 필요한 유일한 추가 부품은 무료 USB 포트가 있는 PC입니다. 이 시스템은 광학에 대한 깊은 지식 없이 기본적인 컴퓨터 기술만 있으면 누구나 쉽게 사용할 수 있습니다.

FR-Education 도구는 수많은 레이어로 구성된 레이어 스택을 처리할 수 있으며 두 개의 수량을 동시에 계산할 수 있습니다(예: 두 필름의 두께, 한 필름의 두께 및 n & k).

FR-Education은 케이스 유형 A(FR-Basic 섹션 참조)가 있고 커버 탑이 없는 FR-Basic의 단순화된 버전입니다. 이 구성에서 분광계는 650픽셀을 가지므로 측정할 수 있는 필름 두께 범위가 제한됩니다. FR-Education은 표준 1cm 큐벳 및 필름에서 흡광도/투과율 측정을 위한 반사 프로브, 2개의 섬유 및 필름/큐벳 홀더와 함께 제공됩니다.
두 개의 기준 샘플(실리콘 및 알루미늄)과 다양한 필름(SiO 2 , Si 3 N 4 /SiO 2 , poly-Si/Si 3 N 4 /SiO 2 )이 있는 Si 웨이퍼 조각을 수용하는 특수 홀더)는 참고용으로 제공되며, 광학 흡광도 표준은 요청 시 제공될 수 있습니다.

FR-Education: 교육 실험실에서 샘플의 광학적 특성화 및 필름 두께 측정을 위한 이상적인 도구