소개

FR-μProbe 는 광학 현미경을 통해 흡광도, 투과도, 반사도 및 형광  과 같은 다양한 모드에서 광학 측정을 위한 소형 턴키 솔루션입니다 . 이 도구는 현미경이 지원하는 스펙트럼 범위에서 작동하는 분광계와 삼안 광학 현미경의 C-포트에 장착되는 모듈의 두 가지 광학 구성 요소를 통합합니다. 측정에 사용되는 광원은 광학 현미경에서 사용할 수 있는 광원입니다. 신호가 수집되는 영역의 크기는 사용되는 대물 렌즈의 배율로 정의됩니다. 일반적으로 50X 대물 렌즈의 경우 모니터링되는 영역은 직경이 ~ 5μm인 원입니다. 수집 영역은 더 높은 배율 또는 더 작은 구경의 대물 렌즈를 사용하여 더 줄일 수 있습니다.

반사율 측정 처리를 통해  조사 중인 박막 및 후막 스택 영역의 박막 두께  및  광학 상수(n & k)가 계산됩니다.

그림 1:  내부 광원을 사용하여 광학 현미경에 설치된 FR-μProbe

그림 2:  FR-Monitor 소프트웨어를 사용하여 현미경의 X20 대물렌즈를 통한  두꺼운 SiO 2 필름의 일반적인 측정.

이 시스템은 광학에 대한 깊은 지식 없이 기본적인 컴퓨터 기술만 있으면 누구나 쉽게 사용할 수 있으며 USB 포트가 있는 PC가 필요합니다.

사양서

*사양은 예고 없이 변경될 수 있습니다.

소프트웨어

FR-Monitor®는 스펙트럼 측정의 도구 제어 및 처리에 사용되며 광범위한 응용 분야 및 다용성을 위한 고유한 기능을 제공합니다. 실시간 흡광도, 투과율, 반사율 또는 형광 스펙트럼을 획득하고 Visual C++에서 구현된 최첨단 알고리즘 덕분에 매우 빠른 계산을 수행합니다. 흡광도/투과도 구성에서는 A, T

와 같은 모든 일반적인 매개변수가   계산됩니다.  또한, 다른 측정에 매우 유용한 신호 통합 과 같은 다른 비전통적인 매개변수가  계산됩니다.

반사율 측정의 경우, FR-Monitor 소프트웨어에는 박막 두께(<10nm ~ 100μm)  및  광학 상수(n & k)의 정확한 계산을 위한  백색광 반사 분광법(WLRS) 알고리즘(ThetaMetrisis TM )이 포함되어 있습니다. (투명 또는 부분/완전 반사 기판 위에) 세워지고 지지되는 (<10층) 필름 스택.