박막두께측정기 (ThetaMetrisis)
FR-pOrtable
Introduction
FR-pOrtable은 투명 및 반투명 단일 필름 또는 필름 스택의 정확하고 정밀한 비파괴 특성화를 위한 고유한 USB 전원 공급 솔루션입니다. FR-pOrtable은 370-1020nm 스펙트럼 범위에서 반사율 및 투과율 측정을 수행할 수 있습니다.
FR-pOrtable의 컴팩트한 디자인은 매우 정확하고 반복적인 측정을 보장합니다. FR-pOrtable은 제공된 스테이지에 장착하거나 특성화 영역 위에 배치할 휴대용 두께 측정 도구로 쉽게 변환할 수 있습니다. 이러한 방식으로 FR-pOrtable은 현장 애플리케이션을 위한 유일한 광학 특성화 도구입니다.
반사율, 투과율, 흡수 및 색상 매개변수 측정 가능
Specifications
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두께 측정 범위 |
12nm-90um |
광원 수명 |
20.000시간 |
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굴절률 계산 |
예(>100nm 두께) |
파장 분해능 |
0.8nm |
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두께 측정 정확도 |
0.2% 또는 1nm |
특성화할 레이어 |
5(동시) |
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두께 측정 정밀도 |
0.05nm 또는 1‰(0.01nm) |
측정 시간(분) |
5msec |
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두께 측정 안정성 |
0.06nm |
분광계 |
3648픽셀, 16비트 |
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표본의 크기 |
1mm ~ 300mm 이상 |
힘 |
USB 제공 |
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스펙트럼 범위 |
370-1020nm |
치수 |
300mm x 110mm x 40mm |
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작동 거리 |
3-20mm |
무게 |
600그램 |
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스팟 크기 |
1.0-4.0mm |
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Typical Measurements with FR-pOrtable
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10nm Si3N4 layer on Si wafer |
84nm TiO2 layer on microscope glass |
110nm PMMA layer on Si wafer |
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2462.9nm TEOS on Si wafer (RI calc) |
48.7μm SU-8 resist film on Si wafer |
162.4nm Si3N4/990.1nm SiO2 on Si wafer |
부속품
At-the-Field 어댑터 : Point-of-Need에서 측정할 때 사용합니다.
투과 모듈 : 코팅의 투과율 및 흡광도 측정, 코팅 두께 등
수동 XY 스테이지 : 여러 위치에서 코팅의 특성화(수동 이동)