Introduction

FR-pRo는 표준 흡광도/투과율 및 반사율 측정을 통해 온도 및 주변 제어 환경에서 필름 특성화에 이르기까지 고객의 요구에 맞게 조정되고 광범위하고 다양한 응용 분야에서 사용할 수 있는 모듈식 및 확장 가능한 측정 장비 시리즈입니다.

FR-pRo 도구는 다음에 의해 조립되도록 신중하게 설계되었습니다.

• 코어 유닛 및

• 측정 구성 및 액세서리 목록의 모듈 및 키트.

다양한 Core Unit과 다양한 모듈 및 키트를 선택하거나 결합하여 필요에 가장 적합한 측정 및 특성화 설정을 만들 수 있습니다.

 

Core Unit

코어 유닛에는 소형 고성능 분광계, 적합한 광원 및 필요한 모든 전자 모듈(전원 및 컨트롤러)이 들어 있습니다. 광원은 높은 안정성 방출 스펙트럼, 소프트웨어 제어 광도 및 매우 긴 작동 수명을 제공합니다. Core Unit 케이스는 견고한 모듈식 구조를 제공하는 고품질 산업용 양극 산화 알루미늄으로 제조됩니다. Core Unit의 상단 덮개는 Optical Breadboard 로 오픈 가능하고 크기는 340mm x 200mm입니다. 상단 덮개는 샘플, 측정 장치 및 광원에서 분광계로 빛을 전달하는 광섬유용 표준 SMA-905 커넥터의 홀더 역할을 합니다. Core Unit은 200-2500nm 파장 범위 내에서 다양한 구성으로 사용할 수 있으며 특정 응용 분야 요구 사항을 충족하도록 추가로 조정할 수 있습니다. 표준 구성은 다음과 같습니다.

 

Specifications

 * 두께 측정 범위는 스펙트럼에 따라 달라지며 반사 기판 위의 굴절률이 ~1.5인 단일 필름 레이어를 참조합니다. 

 

Typical Results

1.1nm

Si 웨이퍼에서 열적으로 성장된 1.1nm SiO 2

 

14.3um

SU-8 resist Si 웨이퍼에 스핀 코팅된 14.3um SU-8 레지스트

 

Measurement Configurations & Accessories

측정 구성 및 액세서리 목록 에는 반사 프로브 홀더, 초점 렌즈 모듈, 큐벳 홀더, 필름/큐벳 홀더, 플로우 셀/미세유체 셀, 통합 구 홀더, 핫 플레이트, 액체 용기와 같은 특정 요구 사항을 충족하는 다양한 항목이 있습니다 . , 전체 샘플에 대한 자동 측정을 위한 가스/압력 챔버 및 데카르트 또는 R-Θ(극성) 스캐너 .

같은 목록에는 다음과 같이 FR-pRo 플랫폼의 기능을 확장하는 몇 가지 액세서리가 있습니다. 통제된 환경에서 측정을 위한 압력 또는 가스 컨트롤러.

모든 FR-pRo 도구는 FR-Monitor 소프트웨어 와 함께 배송됩니다 . FR-Monitor 소프트웨어는 Windows XP/7/8/10 플랫폼(32비트 또는 64비트)에서 실행되며 도구 제어, 데이터 수집 및 1) 단일 또는 스택 필름의 필름 두께 및 2) 굴절률 계산을 위한 데이터 처리를 허용합니다. 정적 또는 동적 모드에서 단일 필름의 인덱스. 이 소프트웨어에는 사용자가 추가로 확장할 수 있고 온라인 및 오프라인 측정을 허용하는 대규모 재료 데이터베이스(350개 이상의 재료)가 포함되어 있습니다. FR-Monitor는 흡광도, 투과율 및 반사율 측정을 지원합니다. 또한 소프트웨어는 모든 필름 스택에 대한 이론적 반사 스펙트럼을 제공합니다. FR-tool과 함께 사용하기 위한 하나의 라이센스 및 결과의 사후 처리에 사용되는 다른 컴퓨터에 설치하기 위한 무제한 라이센스.